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6.6真空开关

发布时间:2017-10-08 分享到:

真空开关是用于检测真空压力的开关。当真空压力未达到设定值时,开关处于断开 状态。当真空压力达到设定值时,开关处于接通状态,发出电信号,控制真空吸附机 构动作。

真空开关按触点形式可分为有触点式(磁性舌簧管开关)和无触点式(半导体真空开 关)。膜片式真空开关属于有触点式真空开关,它是利用膜片感应真空压力变化,再用舌簧 管开关配合磁环提供压力信号。图6-22为膜片式真空开关的工作原理。

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