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9.9电/气伺服阀 9.9.1电/气伺服阀的分类

发布时间:2018-03-29 分享到:

气动伺服阀的控制信号均为电信号,故又称电/气伺服阀,是一种将电信号转换成气压 信号的电气转换装置。它是电/气伺服系统中的核心部件。

由于伺服电动机、步进电动机等电气伺服驱动机构在工业现场的日益普及,气动伺服系 统通常仅限于在高湿度、强磁场、要求防爆等恶劣环境下使用。近些年,由于空气的柔软性 以及使用中不产生热和磁场等优点被重新认识,半导体精密制造中光刻机用的减振台、医疗 仪器、康复设备上开始出现气动伺服系统的身影,并有逐步扩大的趋势。

在构建气动伺服系统时,电/气伺服阀作为控制元件是系统中最为关键的构成要素,电/ 气伺服阀的广义定义为:对应电压或电流的模拟输人信号的连续变化可连续相应地控制输出 流量或压力的阀。

对电/气伺服阀进行大分类,如图9-25所示有比例控制阀和喷嘴-挡板型伺服阀两大类。 比例控制阀根据输人信号的大小成比例地输出流量或压力,是在传统的手调式阀基础上添加 比例电磁铁发展起来的。而喷嘴-挡板型伺服阀输出的流量或压力未必与输人信号成正比, 但分辨率高、灵敏,适合髙精度控制,价格通常也比比例控制阀高出较多。由于喷嘴-挡板 型伺服阀出现早,是传统的伺服阀,因此习惯上有将电/气伺服阀等同于喷嘴-挡板型伺服阀 的做法。

电气比例控制阀已在第5章进行了阐述,因此本节仅讨论电/气伺服阀。

初期的气动伺服阀是仿照液压喷嘴-挡板型伺服阀加工而成的,不仅价格贵且控制精度 低,一直未能得到推广与应用。随着微电子、材料、传感器等科学技术的发展,现代控制理 论和传感器可很容易地被组合利用,价廉地实现伺服功能。气动伺服控制系统实现的可能性 重新得到认识,新型气动伺服阀的开发和研究工作再度活跃起来。

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